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产品填补国内空白 这家等离子体“小巨人”瞄准科创板!

证券市场周刊

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根据QYReasearch统计,2025年,神州股份在中国等离子体电源系统技术支持服务市场中的市场份额排名第一。 

  

上交所官网显示, 国内头部等离子体电源系统供应商江苏神州半导体科技股份有限公司(以下简称“神州股份”)的科创板IPO申请已获上交所受理, 目前已进入IPO问询阶段,保荐机构为国泰海通证券。 

  

根据QYResearch统计,2025年中国半导体领域远程等离子体源系统的国产化率不足7%,而神州股份2025年在中国等离子体电源系统技术支持服务市场中的份额排名第一, 该市场的主要竞争对手系MKS、AE等国际原厂的技术支持服务部门。 

  

图1:神州股份IPO审核项目动态

  

  

  

来源:上交所官网

  

  

  

自研产品填补了国内空白

  

神州股份成立于2016年,总部位于江苏扬州,主要从事半导体关键工艺设备核心零部件的研发、生产、销售和技术支持服务。神州股份的主要产品为等离子体电源系统,包括离子体射频电源系统、远程等离子体源系统、高压脉冲电源系统等,并为芯片产线提供相应技术支持服务。 

  

等离子体是自然界中区别于固、液和气三态的物质第四态,由带电粒子、中性粒子及自由基等组成,能够实现半导体制造所需的较为理想的工艺效果。等离子体源技术是实现半导体芯片先进制程的必要技术手段,被广泛应用在半导体、光伏、显示面板、光学镀膜、医疗器械和科研仪器等领域。 

  

作为半导体领域的核心零部件,等离子体电源系统国产化率较低,市场主要被美国、日本等国际半导体企业占据, 根据弗若斯特沙利文统计,2024年中国半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%;根据QYResearch统计,2025年中国半导体领域远程等离子体源系统的国产化率不足7%,是我国亟待实现自主可控的重点领域之一。 

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