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南大光电产业突破首只国产ArF光刻胶诞生 多途半导体材料争一流市值年增89亿

长江商报 佚名

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  一直被国外垄断的ArF光刻胶,终于迈出了国产化的关键性一步。
  12月17日晚,南大光电(300346.SZ)发布公告称,公司自主研发的ArF光刻胶产品成功通过客户使用认证,这标志着ArF光刻胶产品开发和产业化取得了关键性突破。
  ArF光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料,对国内半导体自主研发及国产化意义重大。
  南大光电由南京大学孙祥祯教授创办,近年来,公司加快产业转型,奔跑在助力半导体产业国产化突破的路上。
  长江商报记者发现,除了光刻胶外,南大光电还积极布局有MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料等产品,这些,都是半导体产业的重要甚至是关键性材料。
  二级市场上,近一年来,南大光电表现出色。截至今年12月18日,股价达35.95元/股,较去年同期的14.17元/股增长153.71%。近一年,公司市值增长88.62亿元。
  历时四年研发攻克ArF光刻胶
  国内集成电路产业获得重大突破!首只国产ArF光刻胶在南大光电诞生。这是南大光电历时四年自主研发的成果。
  根据公告,近日,南大光电控股子公司宁波南大光电材料有限公司(简称宁波南大光电)自主研发的ArF光刻胶产品成功通过客户的使用认证。
  “ArF光刻胶产品开发和产业化”是宁波南大光电承接国家“02专项”的一个重点攻关项目,于2017年开始研发,至今已近四年。
  认证评估报告显示,本次认证选择客户50nm闪存产品中的控制栅进行验证,宁波南大光电的ArF光刻胶产品测试各项性能满足工艺规格要求,良率结果达标。
  南大光电在公告中表示,本次产品认证的通过,标志着“ArF光刻胶产品开发和产业化”项目取得了关键性的突破,成为国内通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶,为全面完成项目目标奠定了坚实的基础。
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